工业气体作为工业的“血液”，，，，，在化工行业阐扬着不成代替的作用。。。。。。电子特气作为其细分领域，，，，，更是被誉为工业气体领域的“皇冠上的明珠”。。。。。。近年来，，，，，我国工业气体产业驶入了发展“快车路”，，，，，在资源、技术、设备、产品等各个方面获得了显著进取，，，，，自给率不休提升。。。。。。在获得成就的同时，，，，，该产业也出现了一些发展瓶颈。。。。。。正如近日中国工程院院士、浙江大学株洲钻研院院长任其龙指出的，，，，，工业气体造作在能耗和品质等方面的局限性日益凸起，，，，，开发清洁高效的气体合成与分离新技术火烧眉毛。。。。。。

　　乙炔是我国沉要的化工原料，，，，，年需要量达900万吨，，，，，不仅是“有机化工之母”，，，，，还可利用于芯片造作等前沿领域。。。。。。但“传统乙炔出产选取电石工艺，，，，，不仅亏损大量优质石灰石和兰炭资源，，，，，出产1吨乙炔还会产生16.7吨二氧化碳，，，，，资源亏损大且产生废渣。。。。。。”

　　为此，，，，，任其龙钻研团队于今年4月研发出利用等离子体造乙炔技术。。。。。。该技术以风电、光伏等绿电为引领，，，，，以等离子体极度规反映介质为主题，，，，，将整个乙炔出产流程绿色再造，，，，，实现煤、天然气一步转化造乙炔气体，，，，，且副产品都可二次利用。。。。。。该技术成功解决了传统电石工艺高资源亏损、高碳排放等问题，，，，，为乙炔、半导体等产业链的迭代升级提供了革命性的技术路线，，，，，也为构建零排放绿色乙炔产业链奠定了基础。。。。。。

　　据悉，，，，，该技术已通过兆瓦级中试和十兆瓦级工业示范装置的运行验证，，，，，单套装置可年产5000吨乙炔。。。。。。任其龙算了一笔绿色生态账，，，，，将来若是将电石工艺全数代替为等离子体造乙炔技术，，，，，全国每年至少可减排1.4亿吨二氧化碳，，，，，相当于我国二氧化碳年排放量的1%。。。。。。

　　含氟特衷禅体在集成电路晶圆造作各环节表演关键角色，，，，，但目前国内企业因循国表寂仔的技术路线，，，，，无法形成后发竞争优势，，，，，研发自主可控且绿色高效的含氟特气造作新技术火烧眉毛。。。。。。

　　基于分子辨识分离道理，，，，，任其龙钻研团队开发了含氟特气净化专用吸附剂，，，，，构筑了有序的亚纳米超微孔路结构，，，，，可能专一性地捕获含氟特气中的微量杂质，，，，，产品纯度可达6N，，，，，处置能力较现有吸附剂提升2倍，，，，，能耗比传统精馏技术降落80%。。。。。。

　　面对含氟拔除物处置问题，，，，，任其龙团队选取等离子体技术裂解工业副产三氟甲烷，，，，，成功地将含氟拔除物转化为高转化、高收率、高附加值的以四氟甲烷、六氟乙烷为重要产品的产品。。。。。。

　　“该反映能耗降低90%，，，，，气相产品收率可达90%，，，，，产品转化率达90%～99.5%，，，，，并且无需使用氟气，，，，，绿色、安全、高效。。。。。。”任其龙说。。。。。。

　　高纯气体在现代工业中需要量巨大，，，，，无论是电子工业中的高纯氮气、航天中的高纯惰性气体，，，，，还是医疗领域的高纯氧气、新能源的高纯氢气，，，，，“高纯”字眼的出现都意味着对分离技术提出了更高的要求。。。。。。

　　“随着芯片集成密度的增长，，，，，先进造程对气体纯度和杂质的要求更高，，，，，工艺的复杂和难度也随之提升。。。。。。”任其龙指出。。。。。。

　　对于状态类似、尺寸相当、性质相近的气体，，，，，吸附是有效的分离伎俩。。。。。。以超高纯含氟电子特气纯化为例，，，，，任其龙团队设计造备了拥有临界孔径和静电势互补特点的辨识资料，，，，，强化对痕量杂质辨识能力，，，，，实现极性相近含氟气体的筛分分离，，，，，解决了含氟电子特气痕量杂质超深度脱除难题。。。。。。

　　此表，，，，，任其龙团队还开发了变温吸附分离工艺及设备，，，，，产品纯度从4N提升至6N，，，，，每立方米吸附剂可获得8吨以上高纯产品，，，，，单程回收率高达95%，，，，，处置能力远高于传统吸附剂，，，，，目前在巨化集团已利用，，，，，与原精馏工艺相比，，，，，出产能力提升4倍，，，，，能耗降低80%以上。。。。。。

　　在职其龙看来，，，，，电子特气行业远景辽阔，，，，，但国内电子气体行业还需在技术层面加以突破。。。。。。在资料方面，，，，，气体终端净化器的主题资料，，，，，如净化用的催化剂、吸附剂等仍有改进空间；；；；；；；在设备方面，，，，，与高纯气体接触的各类器材必须满足干净的尺度，，，，，不然开释出来的微量杂质将传染电子气体；；；；；；；在检测技术上，，，，，我国需在超痕微量杂质、高精度分析检测技术以及专用仪器方面持续攻关；；；；；；；此表，，，，，电子特气出产用的容器、管路、阀门等也亟待自主钻研开发。。。。。。